単成分濃度計(専用機用)
![]() | FUD-1 Model-13製品の概要メンテナンス性や高精度インライン計測などのFUD-1 Model-13のメリットはそのままに、半導體製造プロセス 用として小型セル型発信器を特長としたモデルとなります。
|
構成図
FUD-1 Model-13 ※以下は構成の一例となります
単成分濃度計の特長リアルタイム濃度測定が可能で、濃度管理システム構築も簡単
| メリット
|
用途
|
仕様
形式 | FUD-1 Model-13 | |
測定パラメータ | 超音波伝播速度?溫度 | |
表示 | LCD(濃度?溫度?音速/各種パラメータ) | |
出力信號 | アナログ DC4~20mA(濃度値に対し自由に設定可) デジタル RS232C(濃度?溫度?音速?エラーコード) 警報 上?下限 計測異常 | |
電源 | AC100V~240V 50/60Hz (DC24Vも使用可能) | |
構造 | パネルマウント型(DIN規格準拠)?盤內設置型(オプションにて防雨ケースに組み込み可) | |
環境溫度 | 0~50℃ RH85%以下(結露ないこと) 0~100℃ 特別仕様 -10~160℃(100℃幅) | |
機能 | 出力範囲設定、警報出力設定、濃度表示移動平均、濃度表示オフセット及びゲイン設定機能、自己診斷機能、フェールセーフ機能、異常値キャンセル RS485出力(RS232Cとの同時出力不可) | |
オプション | 溫度出力(DC4~20mA) | |
チャンネル | 最大10ch | |
適合発信器 | Model-13:SA-20S26/SA-20S27/SA-20M5 |