超音波応用機器 設計?製造?販売 富士工業株式會社
単成分濃度計(高精度)

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| FUD-1 Model-130
製品の概要 高精度?高安定計測など、お客様のニーズにお答えするFUD-1 Model-13の上位機種に位置付けされるモデルとなります。
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構成図
FUD-1 Model-130
単成分濃度計の特長Model-130は、測定濃度安定性を重視したコンセプトモデル 半導體製造工程などの高精度?高安定濃度計側が必要とされるシーンで効果を発揮。 |
| メリット- 高精度での連続計測が可能
- 定期的な調整?校正が不要でメンテナンスフリー
- 設置時の各種調整等が不要で設置も容易
- リアルタイム出力による工程へのフィードバックも容易
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用途- CMP工程におけるCMPスラリーまたは酸化剤濃度管理など
- 希釈工程における各種薬液濃度管理など(H2O2?TMAH?HNO3?H2SO4?HClなど)
- 洗浄工程における洗浄液濃度管理など(HF?NH4OH?KOH?IPAなど)
- エッチング工程におけるエッチング液濃度管理など(HF?H2SO4など)
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仕様
形式 | FUD-1 Model-130
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測定パラメータ | 超音波伝播速度?溫度 |
表示 | LCD(濃度?溫度?音速/各種パラメータ) |
出力信號 | アナログ DC4~20mA?。舛葌帳藢潳啡我庠O定可) デジタル RS232C (濃度?溫度?音速?エラーコード) 警報 上?下限 計測異常 |
電源 | AC100V~240V 50/60Hz両用 30VA (DC24Vも使用可能) |
構造 | パネルマウント型(DIN規格準拠) |
機能 | 出力範囲設定機能、警報出力設定機能、濃度表示移動平均機能、濃度表示オフセット及びゲイン設定機能、自己診斷機能、フェールセーフ機能、異常値キャンセル機能 |
オプション | 溫度出力?。―C4~20mA) |
チャンネル | 最大10Ch |
ケーブル | 6m |
接液部材質 | PFAコーティング |
継手 | 呼び徑1/2~1インチに各種対応可 |
測定環境 | 変換器
| 10~40℃ RH85%以下 |
発信器 | 5~45℃ |
測定液溫度 | 0~50℃ |
耐圧 | 0.3MPa |
流量 | 5l/min以下 |
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